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【2h】

Process Technology for Realization of Micromachine. LIGA Like Process Using SU-8 as Thick Photoresist.

机译：用于实现微机枪的过程技术。 Liga喜欢使用SU-8作为厚的光致抗蚀剂的过程。

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作者
Tatsuo KAWABATA;
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年度 1999
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