机译：防止污染。洁净室技术概念在清洁卫生的生产中。
机译：半导体制造用氟化气体：化学气相沉积室清洁工艺的进步
机译：顺序分批反应器（SBR）活性污泥工艺中各种操作条件对清洗效率的影响。第五部分：化学清洗模型
机译：空气污染物的空气污染物分析/评估方法II的空气清洁II需要清洁国际技术路线图2003版本，与分析/评估技术和清洁度相比。
机译：了解声化学和声电化学参数在半导体清洗中的作用
机译：使用材料安全数据表和用于半导体制造行业的光致抗蚀剂的副产品评估有害化学物质
机译：清洁技术支持半导体制造工艺。超薄技术为半导体制造。
