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The effect of carrier gas flow rate and source cell temperature on low pressure organic vapor phase deposition simulation by direct simulation Monte Carlo method

机译：通过直接仿真蒙特卡罗方法对载气流速和源电池温度对低压有机蒸汽相沉积模拟的影响

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Takao Wada; Noriaki Ueda;
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年度 2013
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