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【2h】

Investigation of ion-electron emission in the process of reactive ion-beam etching of dielectric thin film heterostructures

机译：介电薄膜异质结构反应离子束蚀刻过程中离子电子发射的研究

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A. S. Kurochka; A. A. Sergienko; S. P. Kurochka;
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年度 2016
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