机译:使用原子层沉积的Hfalo合金电介质的低温制造及其在低功耗装置中的应用
机译:用于按比例缩放的金属氧化物半导体器件的高k电介质堆栈的低温原子层沉积
机译:从官能化烷基前体的低温等离子体增强原子层沉积锡(IV)氧化物:基于SnO2的薄膜晶体管器件的制造和评估
机译:高k介电纳米电容器应用HfAlO_x薄膜原子层沉积处理中作为氧气源的O_3和H_2O的比较
机译:低工艺温度下库珀种子层的等离子体增强原子层沉积。
机译:通过原子层沉积制备具有纳米薄保护层的低温固体氧化物燃料电池
机译:用于GaN / AlGaN / GaN MOS HEMT的低温原子层沉积生长的Al2O3栅极电介质:沉积条件对界面态密度的影响