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Fabrication of optical nanodevices through field-emission scanning probe lithography and cryogenic etching

机译：通过现场 - 发射扫描探针光刻和低温蚀刻制造光学纳米型制造

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Martin Hofmann; Cemal Aydogan; Ivo W. Rangelow; Mahmut Bicer; Arda D. Yalcinkaya; Hamdi Torun; Burkhard Volland; Onur Ates; Claudia Lenk; B. Erdem Alaca;
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年度 2018
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