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【2h】

Fabrication of resonator–quantum well infrared photodetector focal plane array by inductively coupled plasma etching

机译：通过电感耦合等离子体蚀刻制造谐振器 - 量子阱红外光电探测器焦平面阵列

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Jason Sun; Kwong-Kit Choi;
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年度 2016
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Fabrication of resonator–quantum well infrared photodetector focal plane array by inductively coupled plasma etching

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