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Scanning Transmission Electron Microscopy for Critical Dimension Monitoring in Wafer Manufacturing

机译：扫描透射电子显微镜在晶圆制造中的关键尺寸监测

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作者
Haifeng Wang; Jason Fang; Jason Arjavac; Rudy Kellner;
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年度 2008
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1. 先进的电子断层扫描技术在材料科学中的发展--基于透射电子显微镜和扫描透射电子显微镜 [J] . 李茂华, 杨延清, 黄斌, 中国有色金属学报（英文版） . 2014,第010期
2. 先进的电子断层扫描技术在材料科学中的发展——基于透射电子显微镜和扫描透射电子显微镜 [J] . 李茂华, 杨延清, 黄斌, 中国有色金属学报：英文版 . 2014,第010期
3. Atomic-Scale Localized Thinning and Reconstruction of Two-Dimensional WS2 Layers through In Situ Transmission Electron Microscopy/Scanning Transmission Electron Microscopy [J] . Tseng Yi-Tang, Tai Kuo-Lun, Huang Chun-Wei, The journal of physical chemistry, C. Nanomaterials and interfaces . 2020,第27期

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