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机译:用光致抗蚀剂为面膜制造玻璃基微流体装置
A. Bahadorimehr; B. Y. Majlis;
机译:用干膜光致抗蚀剂作为用于湿法蚀刻的图案转移掩模的玻璃基微流体器件的制造
机译:以光刻胶为掩模的玻璃基微流控器件的制备
机译:快速制备高纵横比微流控器件的干膜光刻胶的优化和应用
机译:用于半微米设备和掩模制造的化学放大负型光刻胶
机译:使用掩埋的光刻胶掩模方法制造多层,独立式,SU-8结构
机译:基于干膜光致抗蚀剂的电化学微流控生物传感器平台:设备制造芯片上分析准备和系统操作
机译:一种紧凑的低成本低维护开放式架构掩模控制器,用于制造多层微流体装置
机译:掩模坯料基板加工装置,掩模坯料基板加工方法,掩模坯料基板制造方法,掩模坯料制造方法和转印掩模制造方法
机译:掩膜基质处理装置,掩膜基质处理方法,掩膜基质制备方法,掩膜制备方法和转移掩膜制备方法
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