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【2h】

Localized planarization of optical damage using laser-based chemical vapor deposition

机译：使用基于激光的化学气相沉积的光学损伤的局部平坦化

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Manyalibo J. Matthews; Selim Elhadj; Gabe M. Guss; Arun Sridharan; Norman D. Nielsen; Jae-Hyuck Yoo; Daeho Lee; Costas Grigoropoulos;
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年度 2013
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