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【2h】

Тенденции развития методов и устройств лазерной литографии для синтеза элементов дифракционной оптики

机译：激光光刻方法和装置的开发趋势，用于合成衍射光学元件

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В.П. Корольков; А.Г. Седухин; В.Н. Хомутов; Р.В. Шиманский; А.Е. Качкин;
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年度 2018
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