机译:等离子增强原子层沉积Ti-Si-N薄膜的生长机理和扩散阻挡特性
机译:等离子体增强原子层沉积制备的钌-氮化钛薄膜的氧扩散阻挡性能
机译:等离子增强原子层沉积生长的ZnO薄膜:“原子层沉积窗口”内外的材料特性
机译:等离子体增强原子层沉积和扩散阻挡特性在钽薄膜上的生长
机译:用于直接板衬和铜扩散阻挡层应用的钌-氮化钛混合相层的等离子体增强原子层沉积。
机译:锡薄膜的等离子体增强的原子层沉积作为CIGS太阳能电池的有效SE扩散屏障
机译:等离子体增强原子层沉积薄氮化钒层作为铜扩散阻挡层