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【2h】

Pre-distorted sinewave-driven parallel-plate electrostatic actuator for harmonic displacement

机译：预扭曲的正弦波驱动平行板静电执行器，用于谐波位移

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Electrical Engineering, Mathematics and Computer Science

机译：电气工程，数学与计算机科学

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作者
G de Graaf; L Mol; L A Rocha; E Cretu; R F Wolffenbuttel;
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作者单位

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年度 2005
总页数
原文格式 PDF
正文语种 eng
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1. Pre-distorted sinewave-driven parallel-plate electrostatic actuator for harmonic displacement [J] . de Graaf G, Mol L, Rocha LA, Journal of Micromechanics and Microengineering . 2005,第7期

机译：预失真正弦波驱动的平行板静电致动器，用于谐波位移
2. Merging parallel-plate and levitation actuators to enable linearity and tunability in electrostatic MEMS [J] . Pallay Mark, Miles Ronald N., Towfighian Shahrzad Journal of Applied Physics . 2019,第1期

机译：合并平行板和悬浮执行器以实现静电MEMS的线性和可调性
3. Merging parallel-plate and levitation actuators to enable linearity and tunability in electrostatic MEMS [J] . Pallay Mark, Miles Ronald N., Towfighian Shahrzad Journal of Applied Physics . 2019,第1期

机译：合并平行板和悬浮致动器，以使静电MEMS的线性和可调性能够实现
4. Closed-loop voltage control of a parallel-plate MEMS electrostatic actuator [C] . Dong Lili, Edwards Jason 2010 American Control Conference . 2010

机译：平行板MEMS静电执行器的闭环电压控制
5. Control of MEMS electrostatic parallel-plate actuators. [D] . Guillou, David Francois. 2001

机译：MEMS静电平行板致动器的控制。
6. Influence of Damping on the Dynamical Behavior of the Electrostatic Parallel-plate and Torsional Actuators with Intermolecular Forces [O] . Wen-Hui Lin, Ya-Pu Zhao 2007

机译：阻尼对带分子间力的静电平行板和扭转执行器动力学行为的影响
7. Energy-efficient full-range oscillation analysis of parallel-plate electrostatically actuated MEMS resonators [O] . Fargas-Marques, Andreu, Costa Castelló, Ramon 2018

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Pre-distorted sinewave-driven parallel-plate electrostatic actuator for harmonic displacement

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