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Study of characteristics of the low-temperature plasma source based on the piezotransformer

机译：基于压电扫描器的低温等离子体源特性研究

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K.V. Artem’ev; N.N. Bogachev; N.G. Gusein-zade; T.V. Dolmatov; L.V. Kolik; E.M. Konchekov; S.E. Andreev;
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年度 2019
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