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机译:使用占空比非常低的脉冲直流磁控溅射,可稳定地反应沉积具有低残留应力和增强韧性的非晶态Al2O3薄膜
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机译:用于微辐射热计应用的脉冲直流磁控溅射氧化钒薄膜的制备,表征和沉积后修饰
机译:TiO2光催化薄膜的高速低温直流脉冲磁控溅射:重复频率的影响
机译:通过DC磁控溅射制备的纳米晶WO3-X薄膜氧空位的重要性,实现高光电化学效率