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Design and Fabrication of a Thin-Film Silicon Photodetector with Angular Sensitivity for Optical Micro-Encoder

机译：具有角度灵敏度的薄膜硅光电探测器的设计和制造光学微编码器

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Bongseok Choi; Yoshiaki Kanamori; Kazuhiro Hane;
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年度 2007
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