Lithography Based on Molecular Glasses

机译：基于分子玻璃的光刻

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Kousuke Tsuchiya; Seung Wook Chang; Nelson M. Felix; Mitsuru Ueda; Christopher K. Ober;
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年度 2005
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1. Lithography Based on Molecular Glasses [J] . Kousuke Tsuchiya, Seung Wook Chang, Nelson M.Felix, Journal of Photopolymer Science and Technology . 2005,第3期

机译：基于分子玻璃的光刻
2. Development of New Positive-Tone Molecular Resists Based on Fullerene Derivatives for Extreme Ultraviolet Lithography [J] . Hiroaki Oizumi, Katsutomo Tanaka, Kiminori Kawakami, Applied physics express . 2010,第6issue2期

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3. Novel Negative-tone Molecular Resist Based On Polyphenol Derivative For Extreme Ultraviolet Lithography [J] . Hiroaki Oizumi, Takafumi Kumise, Toshiro Itani Journal of Vacuum Science & Technology. B, Microelectronics and Nanometer Structures . 2008,第6期

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