首页> 外文OA文献 >Photolithographic Deposition of Ruthenium Thin Films by Photochemical Metalorganic Deposition

【2h】

Photolithographic Deposition of Ruthenium Thin Films by Photochemical Metalorganic Deposition

机译：光刻沉积钌薄膜通过光化学冶金沉积

代理获取

本网站仅为用户提供外文OA文献查询和代理获取服务，本网站没有原文。下单后我们将采用程序或人工为您竭诚获取高质量的原文，但由于OA文献来源多样且变更频繁，仍可能出现获取不到、文献不完整或与标题不符等情况，如果获取不到我们将提供退款服务。请知悉。

页面导航

著录项
引文网络
相似文献
相关主题

著录项

作者
Guizhi Li; Simon Trudel; Ross H. Hill;
展开▼
作者单位

展开▼
年度 2006
总页数
原文格式 PDF
正文语种
中图分类

相似文献

外文文献
中文文献
专利

1. Photolithographic Deposition of Ruthenium Thin Films by Photochemical Metalorganic Deposition [J] . Guizhi Li, Simon Trudel, Ross H.Hill Journal of Photopolymer Science and Technology . 2006,第4期

机译：光化学金属有机沉积对钌薄膜的光刻沉积
2. Ruthenium and ruthenium dioxide thin films deposited by atomic layer deposition using a novel zero-valent metalorganic precursor, (ethylbenzene)(1,3-butadiene)Ru(0), and molecular oxygen [J] . Yeo Seungmin, Park Ji-Yoon, Lee Seung-Joon, Microelectronic Engineering . 2015,第apra期

机译：使用新型零价金属有机前体，（乙苯）（1,3-丁二烯）Ru（0）和分子氧通过原子层沉积法沉积钌和二氧化钌薄膜
3. X-ray absorption fine structure study of amorphous metal oxide thin films prepared by photochemical metalorganic deposition [J] . Trudel S., Daryl Crozier E., Gordon R.A., Journal of Solid State Chemistry . 2011,第5期

机译：光化学金属有机沉积法制备非晶态金属氧化物薄膜的X射线吸收精细结构研究
4. Fabrication and Characterization of Thin Films in BaO-SrO-TiO_2 System Produced by a photochemical Metalorganic Deposition Process [C] . Shyama Mukherjee, Harold Madsen, Paul Roman, Meeting of the Electrochemical Society . 2002

机译：光化学冶育沉积工艺生产的BaO-SRO-TiO_2系统中薄膜的制造与表征
5. Physical vapor deposition and metalorganic chemical vapor deposition of yttria-stabilized zirconia thin films. [D] . Kaufman, David Y. 1998

机译：氧化钇稳定的氧化锆薄膜的物理气相沉积和金属有机化学气相沉积。
6. Deposition of Stainless Steel Thin Films: An Electron Beam Physical Vapour Deposition Approach [O] . Naser Ali, Joao A. Teixeira, Abdulmajid Addali, 2019

机译：不锈钢薄膜的沉积：电子束物理气相沉积方法
7. Deposition of Cadmium Sulphide Thin Films by Photochemical Deposition and Characterization [O] . Pushpalatha H.L., Ganesha R. 2015

机译：通过光化学沉积和表征沉积硫化镉薄膜

Photolithographic Deposition of Ruthenium Thin Films by Photochemical Metalorganic Deposition

著录项

引文网络

相似文献

相关主题

期刊订阅