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机译:<标题> Fel反光光学元件的未来计量需求 title>
Lahsen Assoufid;
机译:基于光栅的硬X射线反射光学器件的波长计量
机译:亚纳米级精度计量,用于超精密反射X射线光学器件
机译:FEL反射光学的未来计量学需求
机译:兆瓦FEL的光学特性分析和新颖的带宽控制方案。
机译:复合折射透镜作为X射线FEL辐射的预聚焦光学器件
机译:衍射和反射率的X射线计量
机译:FEL反射光学器件的未来计量需求
机译:用于用EUV照明和成像光检查物体的计量学系统的照明光学和成像光学以及具有这种照明光学和这种成像光学的光学系统
机译:照明光学系统以及用于用euv-照明和抽象光检查物体的计量系统的成像光学系统,以及具有这种照明光学系统或光学成像系统的计量系统
机译:用于计量系统的照明光学系统以及具有这种照明光学系统的计量系统
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