机译:W_2(NMe_2)_6和水中氧化钨(III)薄膜的原子层沉积:薄膜材料中基于前体的氧化态控制
机译:双层厚度对热原子层沉积生长的Al2O3-Y2O3介电纳米层压膜光学性能的影响
机译:使用杂配液体(iPrCp)2Y(iPr-amd)前驱体沉积Y2O3膜的原子层
机译:新型Y(iPrCp)_3前驱体和O_3原子层沉积氧化钇薄膜的生长特性和性能
机译:金属有机化学气相沉积和原子层沉积方法,用于从二烷基酰胺前体中生长ha基薄膜,用于高级CMOS栅极堆叠应用
机译:用原子层沉积共同给药臭氧和去离子水作为ZnO薄膜生长的氧化剂前体
机译:来自W2(NME2)6和水的氧化钨(III)氧化物薄膜的原子层沉积:薄膜材料中的氧化态的基于前体的控制