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机译:氟和硅掺入对金刚石碳膜的摩擦学性能的影响
Chavin Jongwannasiri; Satoshi Yoshida; Shuichi Watanabe;
机译:氟和硅的掺入对类金刚石碳膜摩擦学性能的影响
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机译:类金刚石碳和氮氧化硅薄膜的结晶和漂白
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