机译:选择激光产生的等离子体软X射线源的目标元素
机译:基于气溶胶靶的激光产生的等离子体软X射线源
机译:开发用于激光生物学实验的紧凑型激光产生等离子体软X射线源
机译:用于EUV和软X射线源的激光产生的等离子体的发射光谱
机译:Nd:YAG和CO2激光产生的锡等离子体的发射特性,可用于极端紫外光刻源的开发。
机译:极紫外光刻光源的激光产生的锡等离子体的电子密度和温度的时间分辨二维分布
机译:用于软X射线投影光刻的激光产生的等离子体
机译:高级源开发和应用。激光产生的等离子体:具有高峰值亮度的紧凑型软X射线源。