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机译:<标题>具有表面微磁体多晶硅致动器的波导结构的单片集成标题>
James H. Smith; Richard F. Carson; Charles T. Sullivan; G. McClellan;
机译:表面微机械加工的多晶硅热作动器和阵列的应用
机译:表面微加工多晶硅热执行器和阵列的应用
机译:表面微机械多晶硅镜和标准CMOS工艺的集成
机译:波导结构与表面微加工多晶硅致动器的单片集成
机译:布拉格反射波导中有源和二阶非线性功能的单片集成。
机译:使用飞秒激光辅助离子束写入将铌酸锂微谐振器与独立式波导单片集成
机译:<标题>用表面微机械的多晶硅传感器和致动器的微电子单片集成的材料和处理问题标题>
机译:波导结构与表面微机械多晶硅执行器的单片集成
机译:单步有源和无源光波导器件单片集成的倾斜价带量子阱双异质结构
机译:光电二极管装置将波导元件与光波导的光电二极管元件类型单片集成
机译:将光电二极管元件与光电二极管类型的光电二极管单片集成的光电二极管装置
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