机译:RF磁控溅射制备AlN薄膜的稳态和瞬态室温光致发光
机译:直流磁控溅射和大功率脉冲磁控溅射沉积在Si(100)上的AlN薄膜的六方相和立方相
机译:直流磁控溅射和高功率脉冲磁控溅射在SAW应用中沉积的AlN膜
机译:通过RF磁控溅射制备的ALN薄膜的可见室温光致发光
机译:非垂直入射反应磁控溅射制备的金属氮化物(氮化铝,氮化钛,氮化ha)薄膜的织构演变。
机译:AlN中间层对大功率脉冲磁控溅射SiC薄膜结构和化学性能的影响
机译:纳米晶体的结构,化学和光学表征:R.F制备的薄膜薄膜。磁控溅射