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【2h】

Dissolution Kinetics and PAG Interaction of Phenolic Resins in Chemically Amplified Resists.

机译：酚醛树脂在化学扩增抗蚀剂中的溶出动力学和PAG相互作用。

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作者
Hiroshi Ito; Debra-Fenzel Alexander; Greg Breyta;
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年度 1997
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