机译:光酸发生器浓度及曝光后烘烤温度对ARF准分子激光抗蚀剂溶出行为的影响。
机译:透明烷基ky盐作为ArF准分子激光光刻的光致产酸剂
机译:CO2,Nd:YAG和ARF准分子激光器对牙本质形态和纸浆室温度的影响:体外研究。
机译:放电泵浦ArF准分子激光器中电子密度的时间行为测量
机译:通过亚毫秒级激光后曝光烘烤光酸产生剂的合理设计降低线宽粗糙度
机译:ArF准分子激光角膜消融:激光重复频率和基本激光-组织耦合的影响。
机译:193 nm ArF受激准分子激光在激光辅助等离子体增强SiNx的化学气相沉积中的作用以进行低温薄膜封装
机译:用于ARF准分子激光器的热稳定的烷基磺酸盐。
机译:宽带arF准分子激光辐射中O2,NH3和H2O的高温吸收系数。