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机译:OH基团含有固体膜的重要性,用于高敏感性的化学放大抗蚀剂。
Yoshinori Hirano; Norihito Ohmori; Noriaki Okimoto; Masayuki Hata; Tyuji Hoshino; Minoru Tsuda;
机译:固体膜中所含的OH基团对高灵敏度的化学增强抗蚀剂的重要性
机译:具有高放大倍数和更高灵敏度的化学位移各向异性放大
机译:量子扩增的异构化:固体聚合物中的新化学扩增成像系统
机译:使用新的化学放大抗蚀剂进行浮雕和功能成像。
机译:固体碳源化学气相沉积系统中辉光放电法合成的高质量石墨烯薄膜
机译:化学放大抗蚀剂。 VII。通过光化学异构化机制从三苯基锍盐产生质子。
机译:具有高灵敏度的化学放大的正性光敏有机绝缘膜组合物以及使用该有机绝缘膜的有机绝缘膜的形成方法
机译:化学扩增的光敏组合物的制造方法,预混液,用于制备化学扩增的光敏组合物,化学放大的光敏组合物,制备光敏干膜的方法,以及图案抗蚀剂膜的制造方法
机译:制造化学扩增的光敏组合物的方法,用于制备化学扩增的光敏组合物的预混溶液,化学扩增的光敏组合物,制造光敏干膜的方法,以及制造图案抗蚀剂膜的方法
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