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【2h】

Adhesion and Cohesion Analysis of ArF/SOR Resist Patterns with Microtip of Atomic Force Microscope(AFM).

机译：原子力显微镜（AFM）微针的ARF / SOR抗蚀剂图案的粘附性和凝聚力分析。

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Akira Kawai; Norio Moriike;
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年度 2001
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1. Adhesion and Cohesion Analysis of ArF/SOR Resist Patterns with Microtip of Atomic Force Microscope(AFM) [J] . Akira Kawai, Norio Moriike Journal of Photopolymer Science and Technology . 2001,第4期

机译：原子力显微镜（AFM）的微尖端分析ArF / SOR抗蚀剂图案的附着力和内聚力
2. Adhesion and Cohesion Properties of Dot Resist Patterns Ranging from 84 to 364 nm Diameter Analyzed by Direct Peeling Method with Atomic Force Microscope Tip [J] . Akira Kawai Journal of Photopolymer Science and Technology . 2002,第1期

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5. High-speed AFM (Atomic Force Microscope) cantilevers via micro molding and pattern transfer to polymer-derived ceramic. [D] . Wang, Shihang. 2012

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8. Atomic Force Microscope (AFM) measurements and analysis on Tinsley AIA-1000-003 primary substrate [R] . 2006

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