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Transparency versus Efficiency: Important Considerations in the Design of Photoacid Generators for ArF Lithography.

机译：透明度与效率：ARF光刻光拍发电机设计的重要考虑因素。

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James F. Cameron; Gerd Pohlers; Yasuhiro Suzuki; Nicholas Chan;
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年度 2002
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1. Transparency versus Efficiency: Important Considerations in the Design of Photoacid Generators for ArF Lithography [J] . James F.Cameron, Gerd Pohlers, Yasuhiro Suzuki, Journal of Photopolymer Science and Technology . 2002,第3期

机译：透明度与效率：ArF光刻光产酸剂设计的重要考虑因素
2. Performance Tradeoffs in the Design of Photoacid Generators for ArF Lithography [J] . James F.Cameron, Nicholas Chan, Kathryn Moore, Journal of Photopolymer Science and Technology . 2001,第3期

机译：ArF光刻用光产酸剂设计中的性能折衷
3. Design of D-π-A type photoacid generators for high efficiency excitation at 405 nm and 800 nm [J] . Ming Jin, Haoran Xu, Hong Hong, Chemical Communications . 2013,第76期

机译：用于405 nm和800 nm高效激发的D-π-A型光致产酸剂的设计
4. Transparency vs. Efficiency in 193nm Photoacid Generator Design [C] . Gerd Pohlers, Yasuhiro Suzuki, Nicholas Chan, Advances in Resist Technology and Processing XIX . 2002

机译：193nm光致产酸剂设计的透明度与效率
5. Design considerations and estimated onvehicle performance for a compressioncouple based thermoelectric generator. [D] . Boroujeni, Nariman Mansouri. 2015

机译：基于压缩对的热电发电机的设计考虑因素和估计的车辆性能。
6. Design of Iodonium Salts for UV or Near-UV LEDs for Photoacid Generator and Polymerization Purposes [O] . Ségolène Villotte, Didier Gigmes, Frédéric Dumur, 2020

机译：用于紫外或近紫外LED的碘鎓盐的设计用于光酸产生剂和聚合目的
7. Performance Tradeoffs in the Design of Photoacid Generators for ArF Lithography. [O] . James F. Cameron, Nicholas Chan, Kathryn Moore, 2001

机译：ARF光刻光拍发电机设计中的性能权衡。

Transparency versus Efficiency: Important Considerations in the Design of Photoacid Generators for ArF Lithography.

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