机译:化学放大抗蚀剂脱保护反应的活化能:使用原位FT-IR光谱的研究
机译:化学放大极低的抗蚀剂中的潜像形成,具有低活化能,可进行脱保护反应
机译:用于光刻模拟的化学放大抗蚀剂曝光期间的脱保护反应研究
机译:带有曝光工具的FT-IR光谱仪分析化学放大的抗蚀剂的脱保护反应
机译:砷化镓晶片的表面化学研究在化学放大的抗蚀剂构图过程中进行,并通过荧光进行抗蚀剂研究。
机译:金属催化剂在高温RWGS反应中的催化行为:原位FT-IR实验和第一性原理计算
机译:光刻模拟化化学放大抗蚀剂脱保护反应的研究。
机译:原位FT-IR(傅里叶变换红外光谱)研究活性闪锌矿与乙基黄原酸钾水溶液的反应