Novel Spin-on Carbon Hard Mask with Hardening by Ion Implantation

机译：新型旋碳硬质掩模，通过离子注入硬化

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作者
Takeo Ishibashi; Yoshiharu Ono; Atsumi Yamaguchi; Sachiko Ogawa; Tetsuro Hanawa; Masaaki Shinohara; Masahiro Tadokoro; Kazumasa Yonekura; Yuko Mitani; Keiko Matsuda; Hideaki Hirori; Takashi Miyamoto; Takeshi Matsunobu;
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年度 2007
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1. Novel Spin-on Carbon Hard Mask with Hardening by Ion Implantation [J] . Takeo Ishibashi, Yoshiharu Ono, Atsumi Yamaguchi Journal of Photopolymer Science and Technology . 2007,第3期

机译：新型离子注入硬化碳旋涂硬掩模
2. Development of Spin-on High Carbon Hard Masks for High Resolution Photolithography [J] . Guanyang Lin, M. Dalil Rahman, JoonYeon Cho Journal of Photopolymer Science and Technology . 2011,第5期

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3. Development of Spin-on High Carbon Hard Masks for High Resolution Photolithography [J] . Guanyang Lin, M. Dalil Rahman, Joon Yeon Caho, Journal of Photopolymer Science and Technology . 2011,第5期

机译：用于高分辨率光刻的旋涂式高碳硬掩模的开发
4. Investigation on spin-on hard mask integration [C] . Yushin Park, Seungwook Shin, Yunjun Kim, Advances in Patterning Materials and Processes XXXIV . 2017

机译：旋涂硬掩模集成研究
5. Total Dose Effects and Hardening-by-Design Methodologies for Implantable Medical Devices. [D] . Schlenvogt, Garrett. 2010

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6. Enhancing Damage-Sensing Capacity of Strain-Hardening Macro-Steel Fiber-Reinforced Concrete by Adding Low Amount of Discrete Carbons [O] . Duy-Liem Nguyen, Dong-Joo Kim, Duc-Kien Thai 2019

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7. Development of Spin-on High Carbon Hard Masks for High Resolution Photolithography [O] . Guanyang Lin, M. Dalil Rahman, Joon Yeon Caho, 2011

机译：高分辨率光刻旋转高碳硬质面罩的开发
8. Hardening of nickel alloys by ion implantation of titanium and carbon [R] . Myers, S. M. , Follstaedt, D. M. , Knapp, J. A. , 1996

机译：钛和碳的离子注入硬化镍合金

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