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【2h】

A novel chemical amplification type positive resist using diphenyliodonium 9,10-dimethoxyanthracene-2-sulphonate as photoinitiator.

机译：二苯基碘鎓9,10-二甲氧基蒽蒽-2-磺酸盐作为光引发剂的新化学扩增型抗抗蚀剂。

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KAZUHIKO NAITOH; KIMIO KANAI; TSUGUO YAMAOKA; AKIRA UMEHARA;
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年度 1991
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