机译:使用KrF准分子激光在室温下通过纳米颗粒的光反应生长的低电阻锡掺杂氧化铟膜的微结构控制
机译:使用KrF准分子激光在室温下通过纳米颗粒的光反应生长的低电阻锡掺杂氧化铟膜的微结构控制
机译:基于聚(4-羟基苯乙烯)的KrF准分子激光光刻正胶
机译:具有化学放大负性抗蚀剂的四分之一微米KrF准分子激光光刻
机译:ArF准分子激光角膜消融:激光重复频率和基本激光-组织耦合的影响。
机译:用KrF准分子激光辐照在掺杂的聚甲基丙烯酸甲酯薄膜上制备周期性表面结构
机译:KRF准分子激光光刻酸阱试剂浸泡负化学扩增抗蚀剂的图案轮廓改进。
机译:用于193纳米准分子激光光刻的表面成像硅聚合物(重新公布新的可用性信息)