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【2h】

Terpolymers of tosyloxymaleimide for application as a polymeric photoacid generator in single-component resists.

机译：在单组分抗蚀剂中作为聚合物光酸发生器施用的甲苯胺氧亚昔亚胺的三元共聚物。

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CHAN-MOON CHUNG; DEOK-IL KOO; KWANG-DUK AHN;
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年度 1994
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