Detailed Microstructure Characterizations of BEOL Cu Interconnects

机译：BEOL CU互连的详细微观结构特征

代理获取

本网站仅为用户提供外文OA文献查询和代理获取服务，本网站没有原文。下单后我们将采用程序或人工为您竭诚获取高质量的原文，但由于OA文献来源多样且变更频繁，仍可能出现获取不到、文献不完整或与标题不符等情况，如果获取不到我们将提供退款服务。请知悉。

页面导航

著录项
引文网络
相似文献
相关主题

著录项

作者
Bianzhu Fu; Michael A. Gribelyuk; Seungman Choi;
展开▼
作者单位

展开▼
年度 2018
总页数
原文格式 PDF
正文语种
中图分类

相似文献

外文文献
中文文献
专利

1. Potassium Permanganate-Based Slurry to Reduce the Galvanic Corrosion of the Cu/Ru/TiN Barrier Liner Stack during CMP in the BEOL Interconnects [J] . Sagi K. V., Amanapu H. P., Alety S. R., ECS Journal of Solid State Science and Technology . 2016,第5期

机译：在BEOL互连中进行CMP期间，高锰酸钾基浆料可降低Cu / Ru / TiN阻挡层堆叠的电偶腐蚀
2. Band diagram for low-k/Cu interconnects: The starting point for understanding back-end-of-line (BEOL) electrical reliability [J] . Mutch Michael J., Pomorski Thomas, Bittel Brad C., Microelectronics & Reliability . 2016,第auga期

机译：低k / Cu互连的能带图：了解线后端（BEOL）电气可靠性的起点
3. Interfacial Fracture Analysis of CMOS Cu/Low-$k$ BEOL Interconnect in Advanced Packaging Structures [J] . Lee C. C., Chiu C. C., Hsia C. C., Advanced Packaging, IEEE Transactions on . 2009,第1期

机译：先进封装结构中CMOS Cu / Low- $ k $ BEOL互连的界面断裂分析
4. Experimental Study of PVD Cu/CVD Co Bilayer Dissolution for BEOL Cu Interconnect Applications [C] . X. Sun, B. Peethala, M. Hopstaken, Meeting of the Electrochemical Society . 2017

机译：BEOL Cu互连应用PVD Cu / CVD Co双层溶解的实验研究
5. Thermal stress and microstructure in Al(Cu) and Cu interconnects for advanced ULSI applications. [D] . Kasthurirangan, Jaishankar. 1998

机译：用于高级ULSI应用的Al（Cu）和Cu互连中的热应力和微观结构。
6. Data on the effect of high-pressure torsion processing on secondary cast Al–10Si– Cu piston alloy: Methods microstructure and mechanical characterizations [O] . F.M. Mwema, T.O. Mbuya, E.T. Akinlabi, 2019

机译：高压扭转处理对二次铸造Al-10％Si-Cu活塞合金的影响的数据：方法显微组织和力学特性
7. Orientation and Microstructure Dependence of Electromigration Damage in Damascene Cu Interconnect Lines [O] . Kabir-kumar Mirpuri, Jerzy Szpunar 2015

机译：大马士革铜互连线电迁移损伤的取向和微观结构依赖性

Detailed Microstructure Characterizations of BEOL Cu Interconnects

著录项

引文网络

相似文献

相关主题

期刊订阅