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【2h】

Investigations on frequency shift probes for monitoring of electron conditions in nano-materials processing plasmas

机译:用于监测纳米材料处理等离子体中电子条件的移频探头的研究

著录项

  • 作者

    Nakamura Keiji; Sugai Hideo;

  • 作者单位
  • 年度 2013
  • 总页数
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类

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