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【2h】

Linear Drive of Piezoelectric Actuator with Highly Magnetostrictive Film Strain Sensor.

机译：带高磁致伸缩膜应变传感器的压电致动器的线性驱动。

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作者
K. H. Shin; K. Imamura; M. Inoue; K. I. Arai;
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年度 1999
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1. Linear drive of piezoelectric actuator with highly magnetostrictive film strain sensor [J] . K.H.Shin, K.Imamura 日本応用磁気学会誌 . 1999,第4a2期

机译：具有高磁致伸缩薄膜应变传感器的压电致动器的线性驱动
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机译：在高度c轴取向的Pb（Zr0.52Ti0.48）O3薄膜中具有超低应变滞后的大压电应变，并且在非晶玻璃基板上呈柱状生长

Linear Drive of Piezoelectric Actuator with Highly Magnetostrictive Film Strain Sensor.

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