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【2h】

Etching Damage Analysis of a Co/Pt Multilayer Patterned Medium Using the Grazing Incidence X-Ray Reflectivity Technique

机译：采用胶带入射X射线反射率技术蚀刻CO / PT多层图案介质的损伤分析

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作者
S. Shirotori; Y. Kamata; T. Maeda; K. Kashiwagi; Y. Isowaki; A. Kikitsu;
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年度 2008
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