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【2h】

Vertical, capacitive microelectromechanical switches produced via direct writing of copper wires

机译：通过直接写入铜线生产的垂直电容式微机电开关

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作者
Zhiran Yi; Jianjun Guo; Yining Chen; Haiqing Zhang; Shuai Zhang; Gaojie Xu; Minfeng Yu; Ping Cui;
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年度 2016
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1. Vertical, capacitive microelectromechanical switches produced via direct writing of copper wires [J] . Zhiran Yi, Jianjun Guo, Yining Chen, Microsystems & Nanoengineering . 2016,第2期

机译：通过直接写入铜线产生的垂直电容性微机电开关
2. Direct measurements and numerical simulations of gas charging in microelectromechanical system capacitive switches [J] . A. Venkattraman, A. Garg, D. Peroulis, Applied Physics Letters . 2012,第8期

机译：微机电系统电容开关中气体充气的直接测量和数值模拟
3. Formation of Extended Directional Breakdown Channels Produced by a Copper Wire Exploding in the Atmosphere [J] . V. V. Apollonov, N. V. Pletnev Technical physics . 2013,第12期

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4. Acceleration of dielectric charging/discharging by RF power in microelectromechanical capacitive switches [C] . Molinero D., Palego C., Halder S., 2011 IEEE MTT-S International Microwave Symposium Digest . 2011

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5. Characterization and mitigation of charge -induced failure in radio frequency microelectromechanical (RF MEMS) capacitive switches [D] . Webster, James Randolph 2005

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6. Vertical capacitive microelectromechanical switches produced via direct writing of copper wires [O] . Zhiran Yi, Jianjun Guo, Yining Chen, 2016

机译：通过直接写入铜线产生的垂直电容性微机电开关
7. Direct measurements and numerical simulations of gas charging in microelectromechanical system capacitive switches [O] . Venkattraman, A, Garg, A, Peroulis, D, 2012

机译：微机电系统电容开关中气体充气的直接测量和数值模拟
8. Robust, Reliable, Radio Frequency (RF) Microelectromechanical Systems (MEMS) Capacitive Switches [R] . Goldsmith, C. L. 2005

机译：坚固，可靠，射频（RF）微机电系统（mEms）电容开关

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