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Crystalline Structure of SiC Thin Films Grown by MOCVD Method with Tetraethylsilane

机译：用四乙基硅烷种植的MOCVD法生长的SiC薄膜的晶体结构

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作者
Shuichi ASAHINA; Naoki KUBO; Hiroshi TSUDA; Nobuyuki KANAYAMA; Akihiro MORITANI; Kuninori KITAHARA;
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年度 2003
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