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【2h】

Correlative HAADF-STEM and EDX-STEM Tomography for the 3D Morphological and Elemental Analysis of FinFET Semiconductor Devices

机译：针对FINFET半导体器件的3D形态学和元素分析的相关HAADF-茎和EDX-茎断层扫描

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Julien Sorel; Martin Jacob; Toby Sanders; Adeline Grenier; Rafael Bortolin Pinheiro; Frederic Mazen; Thierry Epicier; Zineb Saghi;
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年度 2018
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