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Constant voltage electromigration for advanced BEOL copper interconnects

机译：用于高级BEOL铜互连的恒压电迁移

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B. J. Tang; K. Croes; N. Jourdan; J. Bommels; Zs. Tokei; I. De Wolf; E. Wilcox; T. McMullen;
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年度 2015
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