机译:用于弯曲测试的MEMS装置:测量电镀镍的疲劳和蠕变
机译:VM-TEST:使用在厚金属层中制造的静电驱动垂直MEMS测试结构进行机械性能测量
机译:级联的“三弯电子束” MEMS传感器,用于不可访问的环境中的非接触式温度测量
机译:真空环境中亚微米厚的独立铜膜的疲劳裂纹繁殖特性
机译:在粘性环境中基于MEMS的质量测量传感器的建模和仿真。
机译:在敌对环境中使用立体相机/微机电系统惯性测量单元(MEMS-IMU)的新型容错导航和定位方法
机译:亚微米厚独立式铜膜在真空环境下的疲劳裂纹扩展特性
机译:用于评估多变量分析技术在光学厚环境中应用的荧光测量