CZ-Si単結晶育成及びウェハプロセスにおける結晶欠陥の形成と制御に関する研究

机译：CZ-Si单晶生长及晶圆工艺中晶体缺陷的形成与控制研究

代理获取

本网站仅为用户提供外文OA文献查询和代理获取服务，本网站没有原文。下单后我们将采用程序或人工为您竭诚获取高质量的原文，但由于OA文献来源多样且变更频繁，仍可能出现获取不到、文献不完整或与标题不符等情况，如果获取不到我们将提供退款服务。请知悉。

页面导航

著录项
引文网络
相似文献
相关主题

著录项

作者
宝来正隆; ホウライマサタカ;
展开▼
作者单位

展开▼
年度 2017
总页数
原文格式 PDF
正文语种
中图分类

相似文献

外文文献
中文文献
专利

1. チョクラルスキー法によるSi単結晶育成中の点欠陥と空洞欠陥の形成エネルギに関する第一原理解析（ドーパント型および濃度依存性） [J] . 末岡浩治, 芝世弐, 福谷征史郎日本機械学会論文集 . 2006,第717期

机译：用直拉法分析硅单晶生长过程中点缺陷和腔缺陷形成能的第一性原理（掺杂类型和浓度依赖性）
2. 欠陥制御ダイナミックスによる光機能化に関する研究--新しい単結晶育成技術による高性能光機能材料の開発に向けて [J] . 北村健二 NIMS NOW . 2001,第7期

机译：通过缺陷控制动力学进行光学功能研究-以新型单晶生长技术开发高性能光学功能材料
3. 欠陥制御ダイナミックスによる光機能化に関する研究--新しい単結晶育成技術による高性能光機能材料の開発に向けて [J] . 北村健二 NIMS NOW . 2001,第7期

机译：通过缺陷控制动力学进行光学功能研究-以新型单晶生长技术开发高性能光学功能材料
4. 有機-無機ハイブリッドペロブスカイト多結晶薄膜形成におけるマイクロ波パルス照射を用いた低温作製プロセスによる欠陥の低減化 [C] . 古橋知樹, 椿俊太郎, Swee Sien Lim, 応用物理学会学術講演会;応用物理学会 . 2020

机译：使用微波脉冲辐照在有机 - 无机杂交钙钛矿多晶薄膜形成中通过低温制备方法减少缺陷
5. シリコン単結晶中の不純物および熱処理誘起欠陥の励起子発光に関する研究 [D] . 中山, 弘 1981

机译：单晶硅中杂质的激子发射和热处理引起的缺陷的研究
6. ビルドアッププロセスにおける結晶性ナノ粒子の粒子形成機構の解析と粒子径制御に関する研究 [O] . 水谷直也 2016

机译：结晶过程中结晶纳米颗粒的形成机理及粒径控制研究

CZ-Si単結晶育成及びウェハプロセスにおける結晶欠陥の形成と制御に関する研究

著录项

引文网络

相似文献

相关主题

期刊订阅