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【2h】

Direct Electron-Beam Patterning of Surface Coatings and Sacrificial Layers for Micro-Total Analysis Systems.

机译：用于微量分析系统的表面涂层和牺牲层的直接电子束图案化。

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Cindy K. Harnett; K. M. Satyalakshmi; Geoffrey W. Coates; Harold G. Craigheaed;
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年度 2002
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