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机译:粉尘颗粒呈滤光柱正柱中等离子体浓度的径向分布
A.A. Pikalev; A.V. Sysun; O.V. Oleschuk;
机译:粉尘颗粒对辉光放电正柱颗粒和助熔剂空间分布的影响
机译:辉光放电正柱中粉尘颗粒对颗粒和通量空间分布的影响
机译:大电流固定辉光放电正极中等离子体密度的径向分布
机译:粉尘颗粒的辉光放电正柱研究
机译:应用于低压高密度离子源和正极色谱柱的有限等离子体放电的粒子模拟
机译:稀有气体中辉光放电的正柱中的正离子流
机译:辉光放电终止方法正塔电子能量分布函数的测量
机译:基于辉光放电等离子体正柱的面膜和晶圆检查系统的表面和组件的清洁系统和方法
机译:基于辉光放电等离子体正柱清洁掩模和晶圆检测系统的表面和零件的系统和方法。
机译:基于辉光放电等离子体的正柱清洁面膜和晶圆检查系统的表面和组件的系统和方法
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