机译:一种基于新的MEMS基于MEMS的可变电容,使用静电垂直梳驱动致动器和辅助悬臂梁
机译:基于垂直梳状驱动MEMS微镜的可变光衰减器
机译:使用梳状驱动器调节RF-MEMS电容器的谐振频率:一种设计方法
机译:基于角形垂直梳状驱动器的新型MEMS可调谐电容器
机译:用于微机电系统(MEMS)的叉指式角度-垂直-梳齿驱动执行器的开发。
机译:具有生物医学应用的旋转静电梳状驱动器的新型MEMS微型夹具的设计
机译:采用Comb-Drive执行器的RF-mEms电容器可调共振频率:一种设计方法