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【2h】

SILICON-ON-SILICON (SOS): A NEW CMOS COMPATIBLE LOW-TEMPERATURE MEMS PROCESS USING PLASMA ACTIVATED FUSION BONDING

机译：硅 - 硅（SOS）：使用等离子体激活融合键合的新CMOS兼容的低温MEMS工艺

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T. Galchev; W.C. Welch III; K. Najafi;
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年度 2006
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