Получение и исследование состава нераспыляемого геттера на основе сплава циркония, ванадия и железа

摘要

Разработана технология получения нераспыляемого геттерного материала и исследованы его свойства. Методом дуговой плавки в среде очищенного аргона изготовлен сплав из компонентов предварительно очищенных металлов Zr, V, Fe и Nb для использования его в качестве нераспыляемого геттера (NEG). Для достижения однородности химического состава сплав подвергался двойному переплаву. Для нанесения тонкого слоя сплава на подложку использовался вакуумно-плазменный метод формирования покрытий (метод КИБ), разработанный в ННЦ ХФТИ [1]. Исследована структура и микротвердость покрытия, его химический состав методами спектрометрии обратного резерфордовского рассеяния протонов и ионов гелия и спектрометрии рентгеновского характеристического излучения, возбуждаемого протонами[2]. Исследовался сплав, содержащий основные элементы 74,25 Zr, 19,4 V, 4,86 Fe и 1,49 мас. % Nb.