首页> 外文OA文献 >Development of Low Reflectivity and High Resolution Negative-tone Photoresist

【2h】

Development of Low Reflectivity and High Resolution Negative-tone Photoresist

机译：低反射率和高分辨率负色调光致抗蚀剂的发展

代理获取

本网站仅为用户提供外文OA文献查询和代理获取服务，本网站没有原文。下单后我们将采用程序或人工为您竭诚获取高质量的原文，但由于OA文献来源多样且变更频繁，仍可能出现获取不到、文献不完整或与标题不符等情况，如果获取不到我们将提供退款服务。请知悉。

页面导航

著录项
引文网络
相似文献
相关主题

著录项

作者
Dai Shiota; Yoshinori Tadokoro; Kunihiro Noda; Masaru Shida; Masaaki Fujii;
展开▼
作者单位

展开▼
年度 2011
总页数
原文格式 PDF
正文语种
中图分类

相似文献

外文文献
中文文献
专利

1. Development of Low Reflectivity and High Resolution Negative-tone Photoresist [J] . Dai Shiota, Yoshinori Tadokoro, Kunihiro Noda Journal of Photopolymer Science and Technology . 2011,第4期

机译：低反射率和高分辨率负片光刻胶的发展
2. Development of Low Reflectivity and High Resolution Negative-tone Photoresist [J] . Dai Shiota, Yoshinori Tadokoro, Kunihiro Noda, Journal of Photopolymer Science and Technology . 2011,第4期

机译：低反射率和高分辨率负片光刻胶的发展
3. Nanoscopic Cylindrical Dual Concentric and Lengthwise Block Brush Terpolymers as Covalent Preassembled High-Resolution and High-Sensitivity Negative-Tone Photoresist Materials [J] . Guorong Sun, Sangho Cho, Corrie Clark, Journal of the American Chemical Society . 2013,第11期

机译：纳米圆柱双同心长轴嵌段刷三元共聚物作为共价预组装的高分辨率和高灵敏度负音光刻胶材料
4. Non-aqueous negative-tone development of inorganic metal oxide nanoparticle photoresists for next generation lithography [C] . Christine Y. Ouyang, Yeon Sook Chung, Li Li, Advances in resist materials and processing technology XXX . 2013

机译：用于下一代光刻的无机金属氧化物纳米颗粒光致抗蚀剂的非水负性显影
5. Large-field high resolution spectroscopy: Development of all-reflective spatial heterodyne spectrometers, and, Astronomical results using an image slicer from the McMath-Pierce main spectrograph [D] . Corliss, Jason B. 2011

机译：大视场高分辨率光谱学：全反射空间外差光谱仪的开发，以及使用麦克马斯-皮尔斯主光谱仪的图像切片器得到的天文结果
6. Cell Culture on Low-Fluorescence and High-Resolution Photoresist [O] . Hidetaka Ueno, Katsuya Maruo, Masatoshi Inoue, 2020

机译：低荧光和高分辨率光致抗蚀剂的细胞培养
7. A Development of Photoresist Material for Low Energy Electron Beam Lithography [O] . Satoshi Saito, Tetsuro Nakasugi 2003

机译：低能量电子束光刻光致抗蚀剂材料的开发

Development of Low Reflectivity and High Resolution Negative-tone Photoresist

著录项

引文网络

相似文献

相关主题

期刊订阅